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近日，由南昌大學(xué)材料學(xué)院博士生劉冠鵬負(fù)責(zé)的“芯像視成”項(xiàng)目，在第七屆江西省“互聯(lián)網(wǎng)+”大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽中獲得金獎(jiǎng)。該項(xiàng)目依托南昌大學(xué)國(guó)家“雙一流”建設(shè)學(xué)科和南昌大學(xué)國(guó)家硅基LED工程技術(shù)研究中心，致力于MicroLED無(wú)掩膜光刻機(jī)技術(shù)研究與落地轉(zhuǎn)化，將助力我國(guó)半導(dǎo)體和無(wú)掩膜光刻相關(guān)技術(shù)的研究與產(chǎn)品開(kāi)發(fā)。

光刻機(jī)作為微電子裝備的龍頭，是芯片IC和PCB電路板制備技術(shù)的核心設(shè)備。隨著電子技術(shù)的發(fā)展，電路板和芯片的需求越來(lái)越大，受益于下游需求旺盛，光刻設(shè)備有望量?jī)r(jià)齊升帶動(dòng)市場(chǎng)空間不斷增長(zhǎng)。就連PCB線(xiàn)路板制造用的中低端紫外光刻機(jī)也受制于人。此外PCB線(xiàn)路板制造、半導(dǎo)體生產(chǎn)及高精密細(xì)線(xiàn)路曝光等都需要大量的掩膜來(lái)進(jìn)行特定圖形的曝光。掩模板制作復(fù)雜、周期長(zhǎng)、費(fèi)用昂貴，一旦完成無(wú)法修改，這些缺陷嚴(yán)重限制了電子行業(yè)的發(fā)展。無(wú)掩膜光刻設(shè)備成為PCB板、半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的必然選擇。

該項(xiàng)目參照傳統(tǒng)光刻的原理，同時(shí)利用能實(shí)時(shí)投影出動(dòng)畫(huà)的MicroLED微型顯示器芯片，提出采用MicroLED微型顯示器芯片投影的方式直接在基板上投影出想要光刻的電路圖案。為了降低掩膜制作和光刻加工的成本，項(xiàng)目開(kāi)發(fā)和制造了基于MicroLED微顯示芯片的無(wú)掩膜紫外光刻機(jī)。它具備四個(gè)特點(diǎn)，即無(wú)掩，無(wú)需掩膜版，通過(guò)投影的方式直接成像進(jìn)行光刻；高光，可以減少曝光時(shí)間；特供芯片獨(dú)家供應(yīng)；微體，光源和圖像控制部分制作在一個(gè)IC上，無(wú)需外加光源，使得器件體積可減小70%。目前該項(xiàng)目研制的無(wú)掩膜光刻機(jī)已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜PCB電路板的光刻。

該項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)利用自主研發(fā)和制備的自發(fā)光MicroLED芯片，在光刻設(shè)備技術(shù)原理上進(jìn)行了創(chuàng)新，開(kāi)發(fā)和制造了基于MicroLED數(shù)字光芯的無(wú)掩膜光刻機(jī)，成功實(shí)現(xiàn)復(fù)雜PCB電路板的無(wú)掩膜光刻。

原文鏈接：http://www.news.cn/tech/20210824/d98496a50fe84f8d83669bd4a7aa0492/c.html

編    輯：涂金鳳

責(zé)任編輯：許  航